全自动晶圆巨观检查机（具Sortor功能）

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全自动晶圆巨观检查机（具Sortor功能）

降低操作人员触碰到晶圆，而造成晶圆脏污或受损的机率。

本机优点：
· 台湾在地开发制造，可降低设备成本。
· 机台尺寸小，可节省无尘室空间 【1400（W）*900（D）*2050（H）】。
· 站点可依制程选择使用。
· 具晶圆翻转功能。
· 具晶圆分片功能。
· 封闭式架构，具高洁净度。

* 本机为功能混合型机台，需更多功能可咨询做客制化服务。

晶圆直径（Wafer size）

 8吋晶圆(可客制符合其他晶圆尺寸)

 

晶圆载入载出模组(Wafer load/unload module)

o Lord port *2

o 使用Open cassette 

o 晶圆数片(Mapping)功能，可有效侦测有片、无片、错片、凸片、叠片(无翘曲)

 

对准器模组(Aligner)

o 自动对圆心，可依Notch或平边做角度摆正。

o 可为透明片或非透明片做微米等级的精准对位。

 

巨观检测( Macro Inspection )

o 可依客户需求选择光源。

o 可供人员目视做正面、背面、背面边缘检查。

o 可手动调整摇杆，任意调整旋转角度。也可设定检查角度，进行自动旋转调整角度。

o 可做NG片纪录。

o 站点可依制程选择使用。

 

分片功能

o 具翻转功能。

o Cassette A 原进原出。

o Cassette A 传送至Cassette B

 

控制元件

PLC + HMI

 

选配需求( Option )

o 翘曲片处理(<10mm)

o Wafer ID(OCR 限定Semi标准字型)。

o 静电解决方案。

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